Абляция (эксимерлазерная)

Метод удаления вещества с поверхности лазерным импульсом. При низкой мощности лазера вещество испаряется или сублимируется в виде сводных молекул, атомов и ионов, то есть над облучаемой поверхностью образуется слабая плазма. При плотной мощности лазерного импульса, превышающей порог режима абляции, происходит микро - взрыв с образованием кратера на поверхности образца и светящейся плазмы с разлетающимися твердыми и жидкими частицами (аэрозоль).